
|

?°í±â´É¼öÁöÁß ÃÖ°íÀÇ ³»¿¼º°ú ³»¸¶¸ð¼º, Ä¡¼ö¾ÈÁ¤¼ºÀ» °¡Áø PI ¼ÒÀç·Î Àý»è°¡°øµÈ Á¦Ç°À¸·Î
DRAM Dry Etching °øÁ¤¿ë CLAMP, RETAINER, HOLDER, FOCUSµî ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ RINGÀ»
ÁÖ¹®»ý»êÇÕ´Ï´Ù.
- »ç¾ç : WATER 3", 5", 6"µî ÁÖ¹®»ç¾ç
|
|

PEEK¼ÒÀ縦 Àý»è°¡°øÇÑ °ÍÀ¸·Î DRAM »ý»ê¿ë ETCH°øÁ¤ÀåºñÀÇ SEAL RING ¹× E.Z.RINGµî
´Ù¾çÇÑ ±Ô°ÝÀÇ Á¦Ç°À» ÁÖ¹®»ý»êÇÕ´Ï´Ù
|

³»¸¶¸ð¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ POMÀ» Àý»è°¡°ø ÇÑ °ÍÀ¸·Î PPSÀÇ ÀçÁú·Î ³»±¸¼ºÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö µµ ÀÖÀ¸¸ç
6", 8" ¿ë WAFER »ý»ê¿¡ Àû¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|

|

ºÒ¼Ò¼öÁö PTFEÀÇ ¼ºÇüǰÀ» Àý»è°¡°øÇÑ °Í À¸·Î Á¾·¡ »ç¿ëÇÏ´ø °í¹«¿À¸µ ¶Ç´Â °¡Á×Àç°¡ ÇØ°áÇÏÁö
¸øÇÑÁ¡À» º¸¿ÏÇÑ ³»¿¼º, ³»ÈÇмº, ºñÁ¡Âø¼ºÀÇ Æ¯¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
- ¿ëµµ
À¯¾Ð, ¼ö¾Ð, GASKET, ¹ÐºÀ ¿îµ¿±â±¸ÀÇ PACKING, ¹ÝµµÃ¼ÀåºñÀÇ SEAT RING
µî
- »ç¾ç
O-RING : ¤ß3.5§® ¡ ÁÖ¹®»ç¾ç
PLATE-RING : thickness
1§®¡ÁÖ¹®»ç¾ç
LIP TYPE PACKING : ¡üÇü, ^ Çü, ¦£¦¤ÇüÁß ÁÖ¹®»ç¾ç
|
|
|
Copyrights (c) (ÁÖ)¿ì½Å¼¼¹ÌÅØ All right reserved.
°æ±âµµ ºÎõ½Ã ¼öµµ·Î 88-69(µµ´çµ¿ 222-32)
TEL : 032)671-9933 /
FAX : 032)675-8810 |
|