prev << 1 2 3 4 5 6 7 >> next

 

 

°í¿Â³»¿­¼º, Àý¿¬¼º ¹× Åõ¸íµµ°¡ ¿ì¼öÇÑ PAR¼ÒÀç·Î Àý»è °¡°øÇÑ Á¦Ç°À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ DRAM»ý»ê Dry Etching °øÁ¤ÀÇ CHAMBER COVERµî¿¡ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù.






Åõ¸íµµ¿Í °­µµ°¡ ¿ì¼öÇÑ PC¼ÒÀç·Î Àý»è°¡°øµÈ COVER·Î ¹ÝµµÃ¼ LCD Dry Etching °øÁ¤ÀåºñÀÇ CHAMBER¿Í DRAM»ý»ê FAB LINEÀÇ Dry ETCH Àåºñ COVERµî¿¡ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù.

 

 

 


µàÆù»ç°¡ °³¹ßÇÑ ¹æÇâÁ· PI¼ÒÀç·Î ¹ÝµµÃ¼ DRAM»ý»êÀÇ Dry Etching °øÁ¤ÀÇ °¢Á¾ Àåºñ ºÎǰ¿¡ Àû¿ëÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ÁÖ¹®ÀÚ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ Çü»ó°ú ±Ô°ÝÀÇ Á¦Ç°À» »ý»êÇÕ´Ï´Ù.


 

ºÒ¼Ò¼öÁö PTFE¿¡ ºñÇÏ¿© ±â°èÀû ¼ºÁúÀÌ ¿ì¼öÇϰí Àü±âƯ¼º, Ç¥¸éƯ¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ PCTFE·Î Àý»è°¡°øÇÏ°í ¿ì½ÅÀÇ Æ¯¼ö ¸¶Âû¿ëÁ¢À¸·Î À¶ÂøÇÑ ÀÏüÇü SPIN CHUCKÀ¸·Î DRAM»ý»ê PHOTO °øÁ¤ÀÇ Àåºñ¿¡ Àû¿ëÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ÁÖ¹®ÀÚÀÇ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ Çü»ó°ú ±Ô°ÝÀÇ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

ºÒ¼Ò¼öÁö PCTFEÀÇ ¿øÆÇ ÀÏüÇüÀ¸·Î Àý»è°¡°ø µÇ¾î SETº° Ä¡¼öÆíÂ÷°¡ ¾ø´Â Á¤¹ÐÇÑ Á¦Ç°À¸·Î DRAM»ý»ê PHOTO°øÁ¤ÀÇ Àåºñ¿¡ Àû¿ëÇϰí ÀÖ À¸¸ç ÁÖ¹®ÀÚÀÇ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó Çü»ó°ú ±Ô°Ý µîÀ» º¯°æÇÏ¿© »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.



prev << 1 2 3 4 5 6 7 >> next

 


Copyrights (c) (ÁÖ)¿ì½Å¼¼¹ÌÅØ All right reserved.

°æ±âµµ ºÎõ½Ã ¼öµµ·Î 88-69(µµ´çµ¿ 222-32)
TEL : 032)671-9933 / FAX : 032)675-8810